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PECVD系統

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    PECVD系統

    PECVD 系統由管式爐,石英真空室、真空系統、供氣系統、射頻電源系統等組成。 PECVD 系統主要應用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,石墨烯等生長。 PECVD 系統增加功能容易,可擴...[詳細]

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